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吸收設備

吸收法選用低揮發(fā)或不揮發(fā)性溶劑對VOCs進行吸收，再使用VOCs和吸收劑物理性質的差異進行分離。

含VOCs的氣體自吸收塔底部進入塔內，在上升進程中與來自塔頂?shù)奈談┠媪鹘佑|，凈化后的氣體由塔頂排出。吸收了VOCs的吸收劑通過熱交換器后，進入汽提塔頂部，在溫度高于吸收溫度或壓力低于吸收壓力的條件下解吸。解吸后的吸收劑通過溶劑冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs氣體通過冷凝器、氣液分離器后以較純的VOCs氣體離開汽提塔，被收回使用。該工藝適合于VOCs濃度較高、溫度較低的氣體凈化，其他情況下需要作相應的工藝調整。

吸附設備

在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現(xiàn)象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態(tài)污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質，多孔固體物質稱為吸附劑。

固體表面吸附了吸附質后，一部被吸附的吸附質可從吸附劑表面脫離，此現(xiàn)附。而當吸附進行一段時間后，由于表面吸附質的濃集，使其吸附才能明顯下降而吸附凈化的要求，此刻需要選用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附，以協(xié)的吸附才能，這個進程稱為吸附劑的再生。因此在實際吸附工程中，正是使用吸附一再生一再吸附的循環(huán)進程，達到除去廢氣中污染物質并收回廢氣中有用組分。

凈化設備

焚燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質焚燒，大多數(shù)生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，焚燒生成產(chǎn)物中HCl或SO2，需要對焚燒后氣體進一步處理。